安捷倫分子泵是一種高速旋轉的機械泵，因此對平衡的要求很高，對固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造，使得葉片轉速不斷提高的同時，更使分子泵適合超高真空系統(tǒng)，也延長了分子泵的使用壽命。

　　安捷倫分子泵的操作需嚴格遵循規(guī)范，以確保其性能、延長使用壽命并避免設備損壞。以下是分子泵操作的關鍵注意事項：

　　一、啟動前的準備

　　檢查電源與控制系統(tǒng)

　　確保分子泵的電源電壓、頻率與設備要求匹配，接線牢固可靠。

　　檢查控制系統(tǒng)（如變頻器、溫控器）是否正常運行，參數(shù)設置是否正確。

　　確認真空環(huán)境

　　分子泵必須在高真空環(huán)境下啟動，禁止在大氣或低真空狀態(tài)下直接啟動，否則會導致葉片過熱損壞。

　　使用前級泵（如機械泵）將系統(tǒng)抽至較低壓力（通常低于10 Pa），再啟動分子泵。

　　檢查冷卻系統(tǒng)

　　分子泵運行時會產生熱量，需確保冷卻水（或風冷系統(tǒng)）正常循環(huán)，避免過熱。

　　檢查冷卻水管路是否暢通，水流開關是否正常，水溫是否在允許范圍內（通常≤30℃）。

　　檢查振動與噪音

　　手動旋轉分子泵轉子，確保無卡頓或異常摩擦聲，避免異物進入泵內。

　　二、啟動步驟

　　開啟前級泵

　　先啟動前級泵（如機械泵），將系統(tǒng)壓力抽至分子泵允許的啟動壓力以下（通常<10 Pa）。

　　啟動分子泵

　　緩慢增加分子泵的電機轉速（通過變頻器控制），避免瞬間高速啟動導致電機過載或葉片損傷。

　　觀察分子泵的運行電流和振動情況，確保平穩(wěn)加速至額定轉速。

　　監(jiān)控真空度

　　啟動后，密切關注系統(tǒng)真空度的上升情況，確認分子泵抽氣效果正常。

　　三、運行中的維護

　　保持冷卻系統(tǒng)穩(wěn)定

　　持續(xù)監(jiān)測冷卻水溫度、流量和壓力，確保散熱效果良好。

　　定期清洗冷卻水過濾器，防止堵塞。

　　注意異常聲音和振動

　　分子泵運行時應平穩(wěn)無異常噪音，若出現(xiàn)異響或振動過大，需立即停機檢查，可能是軸承磨損或葉片失衡。

　　避免返流污染

　　在高真空系統(tǒng)中，避免突然切斷分子泵電源或關閉閥門，防止空氣倒灌導致葉片污染或氧化。

　　定期檢查油潤滑分子泵

　　對于需要潤滑油的分子泵，定期檢查油位和油質，及時更換老化或污染的潤滑油。

　　四、停機操作

　　逐步降速停止

　　關閉分子泵電源前，先通過變頻器降低轉速至低值，再完q斷電，避免瞬間停機造成沖擊。

　　關閉前級泵

　　分子泵完q停止后，再關閉前級泵，防止系統(tǒng)壓力驟升對分子泵造成損害。

　　隔絕大氣

　　停機后，立即關閉真空系統(tǒng)的閥門，防止空氣進入泵內導致污染或氧化。